Máy đếm hạt khí dung Particle Measuring Systems NanoAir™ 10

1. Giới thiệu về Máy Đếm Hạt Khí Dung NanoAir™ 10 (Particle Measuring Systems)

Máy đếm hạt khí dung NanoAir™ 10 là bộ đếm hạt ngưng tụ CPC (Condensation Particle Counter) được Particle Measuring Systems (PMS) – nhà sản xuất thiết bị kiểm soát ô nhiễm hàng đầu thế giới – phát triển chuyên biệt cho ứng dụng giám sát hạt nano trong môi trường siêu sạch của ngành bán dẫn và vi điện tử. Thiết bị kết hợp độ nhạy và độ chính xác của CPC với tính dễ sử dụng và chức năng của máy đếm hạt phòng sạch truyền thống – một sự kết hợp chưa từng có trước đây trong một thiết bị thương mại.

• Tên sản phẩm: Máy Đếm Hạt Khí Dung 10 nm (NanoAir™ 10 Condensation Particle Counter – CPC)
• Model: NanoAir™ 10 (bao gồm phụ kiện tùy chọn: ParticleSeeker™ 10-port Smart Manifold; HPD-III High-Pressure Diffuser cho khí áp suất cao)
• Hãng sản xuất: Particle Measuring Systems (PMS) – Hoa Kỳ (Boulder, Colorado), nhà sản xuất thiết bị kiểm soát ô nhiễm hàng đầu thế giới cho ngành bán dẫn, dược phẩm và hàng không vũ trụ
• Đối tượng sử dụng: Kỹ sư quy trình và kỹ sư kiểm soát năng suất (yield engineer) trong sản xuất bán dẫn và vi điện tử, quản lý môi trường phòng sạch tại các fab bán dẫn, EFEM và minienvironment, kỹ sư giám sát khí tinh khiết cao áp trong sản xuất bán dẫn.
• Mục đích chính: Phát hiện và giám sát liên tục hạt nano từ 10 nm trong không khí và khí tinh khiết tại điểm sử dụng (POU) bên trong công cụ quy trình bán dẫn, EFEM và minienvironment, cung cấp dữ liệu ô nhiễm thời gian thực để bảo vệ năng suất sản xuất wafer tại các nút công nghệ tiên tiến.

Máy đếm hạt khí dung NanoAir™ 10 hỗ trợ kiểm soát ô nhiễm

2. Đặc điểm nổi bật của Máy Đếm Hạt Khí Dung NanoAir™ 10

NanoAir™ 10 sở hữu những đặc điểm kỹ thuật đột phá, tạo nên bước tiến lịch sử trong công nghệ giám sát hạt nano cho môi trường siêu sạch bán dẫn:

• Phát hiện hạt nhỏ đến 10 nm – Nhỏ hơn 83% so với đối thủ cạnh tranh: NanoAir™ 10 cung cấp độ nhạy phát hiện 10 nm (D50) với lưu lượng mẫu 2,8 L/phút (0,1 CFM) trong kích thước nhỏ hơn 83% so với các bộ đếm CPC cạnh tranh. Kích thước nhỏ gọn chưa từng có cho phép lắp đặt trực tiếp bên trong process tool và EFEM – điều không thể thực hiện với CPC truyền thống.
• Vận hành liên tục 24/7/365 – Không cần bảo trì giữa các chu kỳ: Hệ thống xử lý dung dịch làm việc (working fluid handling system) thiết kế sáng tạo đang được cấp bằng sáng chế (patent-pending) cho phép vận hành liên tục 24/7, 365 ngày mà không cần bất kỳ sự can thiệp nào của người dùng giữa các lần nạp dung dịch và hiệu chuẩn hàng năm – giảm thiểu downtime và chi phí vận hành.
• Giám sát tại điểm sử dụng (Point of Use – POU) bên trong process tool: Lần đầu tiên trong lịch sử, thiết bị CPC có thể được đặt trực tiếp bên trong minienvironment và EFEM của process tool bán dẫn – giám sát ô nhiễm hạt nano ngay tại điểm tiếp xúc gần nhất với wafer, phát hiện sự kiện ô nhiễm theo thời gian thực.
• ParticleSeeker™ – Manifold thông minh 10 điểm lấy mẫu đầu tiên trên thế giới cho nanoparticle: Manifold đồng hành ParticleSeeker™ 10 cổng là manifold đầu tiên trên thế giới được thiết kế để vận chuyển hạt nano (nanoparticle transport). Cho phép NanoAir™ 10 giám sát tuần tự đến 10 vị trí lấy mẫu theo trình tự lập trình hoàn toàn – bao phủ khu vực fab đến 120 m².
• Tương thích khí áp suất cao với HPD-III: Kết hợp với bộ khuếch tán áp suất cao HPD-III (High-Pressure Diffuser) của PMS, NanoAir™ 10 thực hiện đo lường liên tục, độ nhạy cao cho khí công nghệ áp suất cao (bulk gases) – mở rộng phạm vi ứng dụng sang kiểm soát chất lượng nguồn khí cung cấp cho fab.
• Tích hợp phần mềm Facility Net và SCADA: Dữ liệu đếm hạt có thể xem, phân tích và báo cáo qua phần mềm giám sát Facility Net của PMS hoặc truyền trực tiếp đến hệ thống SCADA bên thứ ba hoặc đầu vào process tool – tích hợp liền mạch vào hệ thống quản lý sản xuất hiện có.
• Đầu tiên được thiết kế chuyên biệt cho fab bán dẫn – Không phải thiết bị phòng thí nghiệm cải biến: NanoAir™ 10 được thiết kế từ đầu (purpose-built) cho môi trường fab bán dẫn nghiêm ngặt, không phải là CPC phòng thí nghiệm được điều chỉnh lại – đảm bảo độ tin cậy và tính năng phù hợp với yêu cầu vận hành sản xuất 24/7.

📞 Nếu bạn đang tìm kiếm giải pháp Máy Đếm Hạt Khí Dung NanoAir™ 10 phù hợp cho hệ thống giám sát ô nhiễm trong fab bán dẫn của mình, liên hệ ngay 0911.559.559 để được tư vấn & báo giá.

3. Tiêu chuẩn thử nghiệm Máy Đếm Hạt Khí Dung NanoAir™ 10

NanoAir™ 10 được thiết kế và kiểm định theo các tiêu chuẩn quốc tế nghiêm ngặt nhất về đếm hạt và giám sát môi trường phòng sạch bán dẫn:

• Độ nhạy phát hiện 10 nm (D50) tại lưu lượng 2,8 L/phút: Thông số kỹ thuật cốt lõi – kích thước hạt nhỏ nhất có thể phát hiện (D50 – đường kính hạt tại đó hiệu suất phát hiện đạt 50%) là 10 nm với lưu lượng mẫu 2,8 L/phút (0,1 CFM) – đây là giới hạn phát hiện thấp nhất trong thiết bị CPC thương mại dạng compact.
• Tuân thủ ISO 14644 và tiêu chuẩn kiểm soát ô nhiễm bán dẫn: NanoAir™ 10 được thiết kế để hỗ trợ giám sát phòng sạch theo ISO 14644 và các tiêu chuẩn kiểm soát ô nhiễm của SEMI – cung cấp dữ liệu ô nhiễm hạt nano để bổ sung cho hệ thống giám sát OPC truyền thống theo các tiêu chuẩn hiện hành.
• Vận hành liên tục không gián đoạn – Chu kỳ bảo trì hàng năm: Hệ thống xử lý dung dịch làm việc được thiết kế cho vận hành 24/7/365 không gián đoạn, với chu kỳ bảo trì duy nhất là nạp dung dịch làm việc và hiệu chuẩn hàng năm – đáp ứng tiêu chuẩn độ sẵn sàng thiết bị của fab bán dẫn.
• Tích hợp tiêu chuẩn với hệ thống giám sát môi trường fab (EMS/FMS): Tương thích trực tiếp với phần mềm Facility Net của PMS và hệ thống SCADA/process tool bên thứ ba theo giao thức tiêu chuẩn ngành bán dẫn – đảm bảo dữ liệu đếm hạt được ghi lại, phân tích và cảnh báo đầy đủ theo yêu cầu kiểm soát quy trình.
• Thiết kế patent-pending – Hệ thống xử lý dung dịch làm việc độc quyền: Công nghệ xử lý dung dịch làm việc đang được cấp bằng sáng chế (patent-pending) đảm bảo vận hành ổn định liên tục, không rò rỉ và không ảnh hưởng đến môi trường siêu sạch bên trong process tool – tiêu chuẩn an toàn và vệ sinh của fab bán dẫn.

4. Ứng dụng chính của Máy Đếm Hạt Khí Dung NanoAir™ 10

Nhờ kích thước nhỏ gọn chưa từng có, độ nhạy 10 nm và khả năng vận hành liên tục, NanoAir™ 10 mở ra những ứng dụng giám sát hạt nano hoàn toàn mới trong sản xuất bán dẫn tiên tiến:

🎯 Doanh nghiệp của bạn đang gặp khó khăn trong việc lựa chọn Máy Đếm Hạt Khí Dung NanoAir™ 10 phù hợp? Liên hệ ngay 0911.559.559 để được hỗ trợ và tư vấn nhanh chóng, chính xác!

5. Techno – Đơn vị uy tín cung cấp Máy Đếm Hạt Khí Dung NanoAir™ 10

Khi lựa chọn giải pháp giám sát hạt nano tại Techno Vietnam Industries, quý khách không chỉ sở hữu thiết bị CPC tiên tiến nhất cho fab bán dẫn mà còn được bảo đảm bởi hệ sinh thái dịch vụ kỹ thuật chuyên nghiệp toàn diện:

• Giải pháp thực tế – Tư vấn sát nhu cầu: Đội ngũ kỹ sư Techno lắng nghe yêu cầu cụ thể để đề xuất cấu hình NanoAir™ 10 tối ưu – giám sát POU đơn điểm, hệ thống đa điểm với ParticleSeeker™, hay tích hợp HPD-III cho giám sát khí tinh khiết cao áp – phù hợp với layout fab và yêu cầu năng suất cụ thể.
• Sở hữu thiết bị chính hãng 100%: Cam kết cung cấp thiết bị Particle Measuring Systems NanoAir™ 10 chính hãng, nhập khẩu trực tiếp, được kiểm tra kỹ thuật trước khi bàn giao – đảm bảo độ nhạy 10 nm và khả năng vận hành 24/7 theo đúng thông số nhà sản xuất.
• Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu: Techno cung cấp hỗ trợ lắp đặt và commissioning NanoAir™ 10 bên trong process tool hoặc minienvironment, tích hợp với hệ thống Facility Net và SCADA, cấu hình ParticleSeeker™ và dịch vụ nạp dung dịch làm việc định kỳ hàng năm.
• Dịch vụ hậu mãi chuẩn mực: Bảo hành theo chính sách nhà sản xuất, hỗ trợ kỹ thuật 24/7 và dịch vụ hiệu chuẩn và bảo trì định kỳ hàng năm – duy trì hiệu năng phát hiện 10 nm và sẵn sàng vận hành liên tục cho fab bán dẫn của quý khách.

Tổng kết lại, máy đếm hạt khí dung NanoAir™ 10 là bước đột phá lịch sử trong công nghệ giám sát ô nhiễm hạt nano cho sản xuất bán dẫn – kết hợp độ nhạy 10 nm cấp CPC với kích thước nhỏ gọn (nhỏ hơn 83% đối thủ) và khả năng vận hành 24/7 không cần bảo trì trong một thiết bị purpose-built đầu tiên cho fab bán dẫn. Được bổ sung bởi ParticleSeeker™ 10 điểm và HPD-III khí cao áp, NanoAir™ 10 cung cấp hệ sinh thái giám sát hạt nano toàn diện từ bên trong process tool đến toàn bộ khu vực fab. Liên hệ Techno ngay hôm nay để được tư vấn giải pháp giám sát hạt nano phù hợp nhất cho fab của doanh nghiệp.

Techno cam kết đồng hành cùng doanh nghiệp trong việc nâng cao hiệu quả vận hành

Liên hệ ngay với Techno để được tư vấn giải pháp phù hợp cho Doanh nghiệp của bạn:

Thông tin liên hệ

• Văn phòng Hà Nội: Tầng 5, Số 84 Phố Duy Tân, Phường Cầu Giấy, Thành phố Hà Nội, Việt Nam

• Văn phòng HCM: 62 Đường Số 1, Khu Phố 3, Phường An Lạc, Thành phố Hồ Chí Minh, Việt Nam

• Hotline: 0911.559.559

• Email: Sales@technovietnam.com